项目简介
某半导体器件生产废水情况如下：含氟清洗废水、研磨清洗废水、有机废水（因产生量较少，浓度高，委托第三方处置单位处置）、酸碱废水，废水性质主要为清洗废水，浓度较低，容易处理。废水经过系统处理后达到国家污水综合排放标准级标准和纳管排放。
第二设计技术规范及相关标准
本污水处理项目的设计，施工与安装严格执行国家的专业技术规范与标准，其主要规范与标准如下：
●《污水综合排放标准》 GB8978-1996标准
●《钢结构设计规范》 GB50017－2017
●《固定式钢梯和平台要求》 GB 4053—2009
●《机械设备安装工程施工及验收规范》 GB50231-2009
●《现场设备、工业管道焊接施工及验收规范》 GB50236-2011
●《电力装置的继电保护和自动装置设计规范》 GBT50062-2008
●《电气装置施工及验收规范》 GB-50254-96
●《分散型控制系统工程设计规范》 HGT-20573-2012
●《工业与民用供配电系统设计规范》 GB-50052-2009
●《低压配电装置及线路设计规范》 GB50054-2011
项目由来
该厂区主要废水生产废水来源于以下：
3.1、含氟清洗废水及处理单元预估出水情况 |
处理工艺 | 项目 | 水量(t/a) | pH | COD（mg/l） | SS（mg/l） | F-（mg/l） | 氯化物（mg/l） |
一级反应沉淀池 | 进水 | 11520 | 3-4 | 50 | 25 | 300 | 30 |
出水 | 11520 | 4-5 | 40 | 17.5 | 60 | 30 |
去除效率% | - | / | 20 | 30 | 80 | / |
二级反应沉淀池 | 进水 | 11520 | 4-5 | 40 | 17.5 | 60 | 30 |
出水 | 11520 | 5-6 | 32 | 7 | 12 | 30 |
去除效率% | - | / | 20 | 60 | 80 | / |
pH调节池 | 进水 | 11520 | 5-6 | 32 | 7 | 12 | 30 |
出水 | 11520 | 6-9 | 32 | 7 | 12 | 30 |
3.2、研磨清洗废水及处理单元预估出水情况 |
处理工艺 | 项目 | 水量(t/a) | pH | COD（mg/l） | SS（mg/l） |
反应沉淀 | 进水 | 3840 | 6-9 | 100 | 800 |
出水 | 3840 | 7-10 | 100 | 200 |
去除效率% | - | / | 0 | 75 |
pH调节池 | 进水 | 3840 | 7-10 | 100 | 200 |
出水 | 3840 | 6-9 | 100 | 200 |
有机清洗废水排放量较少，*为144m3/a，经现场收集后委托有资质单位处理处置。
酸碱废水及处理单元预估出水情况 |
处理工艺 | 项目 | 水量(t/d) | pH | COD | SS | 氨氮 | 总氮 | 总磷 | 硫酸盐 | 氯化物 |
一级反应沉淀 | 进水 | 77220 | 4-7 | 60 | 200 | 15 | 40 | 10 | 800 | 70 |
出水 | 77220 | 5-8 | 48 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 |
去除效率% | / | / | 20 | 85 | / | 10 | 50 | 50 | / |
二级中和 | 进水 | 77220 | 5-8 | 48 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 |
出水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 |
去除效率% | / | / | 10 | / | / | / | / | / | / |
pH调节池 | 进水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 |
出水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 |
经详细了解，该废水主要污染物为PH、SS值，废水性质简单，水质较稳定，未见明显复杂成分。经过化学调整PH和混凝沉淀后，可以保证完全达标。
污水处理工程建设规模及处理程度
4.1处理规模(按照环评意见，每年工作日330天，24小时生产)
序号 | 废水名称 | 废水产生量 |
1 | 含氟清洗废水 | 10T/h |
2 | 研磨清洗废水 | 5t/h |
4 | 酸碱废水 | 40t/h |
5 | 合计 | 55t/h |
考虑到相关的不确定因素，本方案中设计略放余量,按照300t/d废水处理能力设计。
4.2处理出水指标
该生产清洗废水经处理后排放，参考标准为《污水综合排放标准》GB8978-1996级标准，具体监测因子及水质指标见下表。
污水排放标准 单位：mg/L （pH值除外） |
污染物名称 | 水质标准限值 | 标准来源 |
pH | 6～9 | 《污水综合排放标准》 GB8978-1996三级标准 |
BOD5 | 300 |
COD | 500 |
SS | 400 |
NH3-H | 25 |
动植物油 | 10 |
石油类 | 20 |
磷酸盐（以p计） | 5 |
总氮 | / |
氨氮 | 25 |
氟化物 | 20 |
清洗废水处理工艺
5.1前处理清洗废水处理工艺方案的选择与确定（具体工艺参见工艺流程图）
5.1.1含氟废水工艺说明
含氟清洗废水进入含氟清洗废水收集池后，经过PH调整、并添加氯化钙(CaCl2)产生无害的氟化钙(CaF2)沉淀，经投加混凝剂(PAC)、絮凝剂(PAM)进行混凝沉降，总除氟效率达到96%以上。含氟废水采用氯化钙作沉淀剂处理工艺，为成熟可靠工艺。
5.1.2研磨废水处理工艺说明
研磨清洗废水进入研磨废水收集池均质后，通过提升泵提升，调整pH值后加入PAC，PAM充分反应后，进入斜管沉淀池，总除SS效率达到90%，处理后废水经pH调节槽进入排放系统，产生的污泥进入污泥槽，经污泥脱水形成泥饼，外运。
5.1.3酸碱废水处理工艺说明
一般酸碱废水采用酸碱中和法处理，酸碱废水经管道收集后流入废水处理站的酸碱废水收集池；依次进入PH调整池，PH调整池中设计PH在线检测仪，根据PH情况，添加碱液后，再投加一定量的PAC和PAM絮凝剂后，进入沉淀池，防止SS值超标。
经沉淀后的废水进入pH调节槽，经检测合格后（pH值达到6~9范围内）排入公司生产废水排水管道。
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